功能用途
本产品利用涡流原理制造：即被测蒸铝层靠近高频激磁磁场时， 感应产生涡电流， 因而产生涡流磁场， 此涡流磁场反作用于原来激磁磁场， 使传感器阻抗发生变化， 然后通过检测电路并进行放大， 输出与厚度相对应模拟电压。
技术参数
可测量范围与量程
被测薄膜尺寸：100mm±10%×200mm±10%
测量量程：厚度90～800Å （0.009～0.08µm） 方阻95～0.47Ω/□
精 确 度
测量准确度：厚度 ±(20Å+2%读数) 方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）
读数重现性 ：10Å (同一测量点)
仪器尺寸：120 x 320 x 400（毫米）
重 量 ：毛重7公斤